六氟乙烷（R116制冷剂）

六氟乙烷（hexafluoroethane），又称全氟乙烷，是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物，是卤代烃（化学式：C2F6），亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物，是一种不易燃的气体，难溶于水，微溶于醇。

六氟乙烷（R116制冷剂）应用

六氟乙烷（R116制冷剂）可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。

六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。

中文名：六氟乙烷 

英文名：Hexafluoroethane 

别称：全氟乙烷、R116制冷剂 

化学式：C2F6 

分子量：138.01 

熔点：-100.6℃ 

沸点：-78.2℃ 

水溶性：0.0015% 

密度：5.734 kg·m-3 (24℃) 

外观：无色无臭气体 

闪点无意义（不燃） 

应 用： 用作绝缘气、等离子蚀刻剂，高介电强度冷却剂 

物理数据

1、性状：无色、无臭的气体。

2、密度（g/mL，25℃）：1.607

3、相对蒸汽密度（g/mL，空气=1）：4.7

4、熔点（oC）：-100.6

5、沸点（oC，常压）：-78.2

6、临界温度（K）：19.85

7、临界压力（MPa）：3.043

8、临界密度（g·cm-3）：0.622

9、临界体积（cm3·mol-1）：221

10、临界压缩因子：0.276

11、偏心因子：0.245

12、饱和蒸气压（kPa，20 oC）：182

13、van der Waals面积（cm2·mol-1）：6.900×109

14、临界温度（oC）：145.7

15、临界压力（MPa）：3.29

16、 Lennard-Jones参数（A）：5.5571

17、 Lennard-Jones参数（K）：161.14

18、 van der Waals体积（cm3·mol-1）：42.660

19、溶解性：微溶于水

20、气相标准声称热（焓）（ kJ·mol-1）：-1343

21、气相标准熵（J·mol-1·K-1） ：332.5

22、相标准生成自由能（ kJ·mol-1）：-1257.0

23、气相标准热熔（J·mol-1·K-1）：106.54 [1]  

化学分子结构

1、 摩尔折射率：12.22

2、 摩尔体积（cm3/mol）：94.3

3、 等张比容（90.2K）：158.9

4、 表面张力（dyne/cm）：8.0

5、 介电常数：无可用

6、 偶极距（10-24cm3）：无可用

7、 极化率：4.84 [1]